Heizung für Rasterelektronenmikroskop

Fri, 19 Jun 2026 02:38:51 +0800

In der Fertigungshalle versagen die Toleranzen bei der Untersuchung mit dem SEM bereits dann, wenn sich die Probeplattform bewegt. Eine Abweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks oder während der kritischen Bildaufnahmen führt zu Veränderungen in der Strichbreite sowie im Kontrast – was wiederum eine erneute Qualifizierung des Geräts erforderlich macht. Man benötigt daher eine Heizquelle, auf die man sich verlassen kann: eine Heizquelle, deren Leistung vorhersehbar, zuverlässig und reproduzierbar ist.

Was technisch wichtig ist:
Wir haben den Heizer für das SEM so konzipiert, dass er ein kontrolliertes Wärmeverhalten aufweist. Der Heizer nutzt Kurzwellen-Infrarotstrahlung – dadurch reagiert er schnell und mit geringer Wärmemasse. Die Temperatur erreicht innerhalb weniger Sekunden den gewünschten Wert. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität der Temperatur bei ±0,1 °C – somit wird die Temperatur nicht zum Problem in der Lithografiemetrik.

Elektron on Warm IR Gold Coating Heaters

Heizung für Rasterelektronenmikroskop