Trocknungslampe für Deep UV (DUV) Resisten

Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800

Im Bereich der Lithographie ist eine Temperaturschwankung von 0,2 °C während des Trocknungsprozesses kein unbedeutender Faktor – vielmehr hat sie Auswirkungen auf die Qualität des Endprodukts. Der DUV-Photosensor fixiert seine kritischen Abmessungen bereits in den ersten Minuten der thermischen Behandlung. Der Trocknungsprozess steuert außerdem den Abbau von Lösungsmitteln, den Spannungsverlauf im Film sowie die Form der Ränder des Films. Wenn die thermische Homogenität nicht gewährleistet ist, entstehen Probleme wie Verbindungen zwischen den Strukturen im Film oder Unregelmäßigkeiten in der Struktur des Films – das kann dazu führen, dass ganze Produktchargen verschwendet werden müssen.

(DUV) on Warm IR Gold Coating Heaters

Trocknungslampe für Deep UV (DUV) Resisten