Warum wir die Infrarotbehandlung für Wafern verwenden
Wenn Sie mit vorschriftenkonformen, bleifreien oder umweltfreundlichen Verfahren arbeiten, kennen Sie sicherlich den Druck, der dabei entsteht. Man kann es sich nicht leisten, nur annähernd an die Anforderungen zu kommen – man muss sie perfekt erfüllen. Genau da kommt die Infrarotbehandlung ins Spiel.
Denken Sie an einen herkömmlichen Konvektionsofen: Er heizt den gesamten Raum auf, nur um eine Scheibe zu erwärmen. Das ist Verschwendung. Infrarotlampen hingegen sind anders – sie richten die Energie direkt auf die Oberfläche des Wafers. Es geht schnell und effizient.
Da wir Kurzwellen- oder Mittelwellen-Infrarotstrahlung verwenden, gelangt die Energie direkt in das Substrat. Es wird keine Zeit damit verschwendet, große Mengen an Luft zu erwärmen oder Lösungsmittel zu nutzen. Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie hingehört – ins Wafer, nicht in die Wände der Geräte. Dadurch sinken Ihre Energiekosten, und der Platzbedarf bleibt gering.
Außerdem gibt es noch den „Sauberkeitsfaktor“. Bei herkömmlichen Behandlungsmethoden werden in der Regel chemische Katalysatoren oder extrem hohe Temperaturen benötigt – was wiederum zu der Freisetzung von flüchtigen organischen Verbindungen führt. Niemand will das in seiner Umgebung haben. Infrarotbehandlungen benötigen solche Zusatzstoffe nicht. So entsteht ein trockener, sauberer Prozess – ohne Bedenken bezüglich Bleikontaminationen oder gefährlicher Dämpfe.
Allerdings gibt es auch einen Haken: Diese Lampen erzeugen eine enorme Menge an Wärme in sehr kurzer Zeit. Ein Wafer kann also in Sekundenzeit behandelt werden – was wie Magie erscheint. Doch wenn die Kühlsysteme nicht ausreichen, steigt die Umgebungstemperatur, und die Sensordaten werden ungenau. Um das zu verhindern, verwenden wir immer Pyrometer mit hoher Präzision. Dadurch bleibt die Temperatur unter Kontrolle.
Im Alltag halten wir es einfach: Wenn eine Lampe ausfällt, ersetzen wir sie einfach. Es ist nicht nötig, stundenlang das gesamte thermische System neu einzustellen. Zudem gibt es keine Lüfter oder Gebläse, die Staub in der Heizzone aufwirbeln. Weniger bewegliche Teile bedeuten weniger Partikel – dadurch bleiben die Anforderungen an die Sauberkeit der Reinraumumgebung gewahrt.