Velkoobchodní lampa na sušení destiček

Fri, 26 Jun 2026 01:49:11 +0800

V provozu – v okamžiku, kdy čip vyjde z finálního oplachování – začíná běžet čas. Jakákoli zdržka při sušení může vést ke kolapsu struktury čipu, vzniku hrudek na okrajích a částic, které poté půjdou spolu s čipem přímo do procesů litografie a leptání. Naše lampy na sušení čipů jsou navrženy tak, aby eliminovaly tyto nepřesnosti. Zajišťují spolehlivou regulaci teploty právě v místě, kde probíhá sušení, takže profil fotorezistoru zůstává v požadovaných mezích, za každé směny.

To je to, na čem skutečně záleží. Používáme zdroje krátkovlnného a střednovlnného infračerveného záření umístěné v křemíkových obalech – ty jsou přizpůsobeny způsobu absorpce vody a rozpouštědel fotorezistorů. Rozložení teploty po celém povrchu čipu je přesné na úroveň ±0,1 °C, a teplotní hodnoty zůstávají stabilní během celého procesu sušení. Kompatibilita s čisticími prostorami třídy 1–100 není dodatečnou vlastností – je integrována do konstrukce díky materiálům s nízkým uvolňováním plynů, hermeticky uzavřeným obalům a proudění vzduchu s kladným tlakem, což snižuje tvorbu částic. Výkon lampy zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 %. Integrované rutiny kalibrace a bezpečnostní mechanismy zajistí, že každý proces proběhne v rámci stanovených teplotních mezí. Konstrukce lampy a reflektoru také snižuje spotřebu energie.

Velkoobchod on Warm IR Gold Coating Heaters

Velkoobchodní lampa na sušení destiček