Udržení waferů opravdu čistých během sušení
Při sušení waferů s MEMS senzory je teplo pouze polovinou problému. Skutečným problémem jsou částice, které se uvolňují z povrchu waferů. V prostředí třídy 100 může i malý kousek starého vlákna nebo trocha lepidla způsobit zkázu celé šarže senzorů. Je to frustrující, nákladné a zároveň zcela vyhnutelné.
Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemene. Ty prostě nezpůsobují žádné kontaminace.
Proč křemen skutečně funguje
Většina topení využívá kovové obaly nebo keramické části. Problém? Tyto materiály postupem času uvolňují mikročástice.
Naše křemenné lampy fungují jinak. Využívají radiační přenos tepla – teplota tedy přechází přímo z vlákna na wafer. Neexistuje žádný prostředník, který by mohl způsobit kontaminaci vašich senzorů. Používáme speciální druh vysoce čistého křemene, takže sklo nezkazí ani neuvolní plyny, dokonce i při velmi vysokých teplotách.
Kompromis mezi výkonem a teplem
Abychom dosáhli rychlého sušení, musíme do velmi malého prostoru umístit velký výkon. To funguje – vaše wafery se rychle vysuší. Ale tato intenzita má svou cenу – povrch lampy se stává extrémně horkým. Pokud vaše chladiče nejsou dostatečně efektivní, dojde k přehřátí spojů nebo samotného rámu stroje. Předtím, než tyto lampy zapojíte do uzavřeného prostoru, důkladně zkontrolujte průtok vzduchu. To vám ušetří spoustu problémů v budoucnu.
Usnadnění práce na pracovišti
Víme, že přerušení provozu je velký problém, proto jsme tyto lampy navrhli tak, aby se daly snadno vyměnit. Použili jsme standardní konektory, takže když se lampa nakonec vyhoří, stačí ji vyndat a nahradit ji novou. Není potřeba trávit hodiny recalibrací celé sady.
Kromě toho upravujeme povrch křemenu tak, aby se na něm nevytvářely jamky. To zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla po celém waferu, což je velmi důležité pro tenké MEMS membrány, které se zdeformují, pokud se ocitnou v „horkých bodech“.
Poslední tip: udržujte sklo čisté. Pokud na křemenu zanecháte otisky prstů nebo kožní oleje během instalace, ty se do skla vetřou. Jakmile se to stane, budete mít trvalý „chladný bod“ a budete muset lampu vyměnit. Používejte rukavice a udržujte sklo čisté – pak budete v pořádku.