http://warm-ir-gold-heater.com/bn/tags/resist/ Recent content in Resist on Warm IR Gold Coating Heaters Hugo bn Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/bn/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:46:16 +0800 http://warm-ir-gold-heater.com/bn/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-gold-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ডিপ ইউভি (DUV) রেজিস্ট বেক ল্যাম্প"></p> <p>লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়ার সময় ০.২°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তন কোনো ছোটখাটো সমস্যা নয়—এটা উৎপাদন ক্ষমতাকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। DUV ফটোরেজিস্ট থার্মাল কন্ডিশনিংয়ের প্রথম কয়েক মিনিটের মধ্যেই তার গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো নির্ধারিত হয়ে যায়; আর “বেক” প্রক্রিয়াটি সলভেন্ট অপসারণ, ফিল্মের চাপ এবং ফিল্মের কিনারাগুলো নিয়ন্ত্রণ করে। যখন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ হয় না, তখন ফিল্মে অসামঞ্জস্য দেখা দেয়; এর ফলে পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াটিই ব্যর্থ হয়ে যেতে পারে।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা NIR হিটিং ব্যবহার করে DUV রেজিস্ট বেক ল্যাম্প ব্যবহার করি। থার্মাল ফিল্ডটি সাব-মিলিমিটার স্তর পর্যন্ত সুসংগঠিত থাকে; আর রিপিটেবিলিটি ওয়েফার-স্তরেই থাকে। রিফ্লেক্টর-আকৃতির হিট প্রোফাইলটি ওয়েফারের জ্যামিতির সাথে মিলে যায়; শুধুমাত্র হিটারের রিডআউটের সাথে নয়। ৩০০ মিমি ওয়েফারের ক্ষেত্রে, বেক জোনটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে, এবং ফিল্ম স্ট্যাকের থার্মাল ব্যালেন্সও বজায় থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর জন্য তৈরি করা হয়েছে; উপকরণগুলো এবং সিলগুলো এমনভাবে নির্বাচিত হয়েছে যাতে বেক প্রক্রিয়ার সময় কোনো ধরনের কণা তৈরি না হয়।</p>