Giảm lượng khí carbon trong quy trình sản xuất: Chìa khóa nằm ở vỏ bọc thiết bị
Hiện nay, mọi nhà máy chế tạo bán dẫn đều phải đối mặt với áp lực phải đạt được mục tiêu giảm lượng khí carbon xuống mức bằng không. Giải pháp rõ ràng nhất là thay thế các hệ thống sưởi truyền thống bằng các hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại chính xác. Nhưng điều quan trọng là: đèn chỉ là một phần của giải pháp mà thôi.
Điều thực sự quan trọng nằm ở vỏ bọc bằng thép không gỉ. Nếu việc chế tạo vỏ bọc này không được chuẩn xác, thì năng lượng sẽ bị lãng phí.
Ngăn chặn sự thoát nhiệt
Nếu bạn muốn giảm lượng khí carbon, bạn cần ngăn chặn sự lãng phí năng lượng. Đơn giản thôi.
Chúng tôi sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để chế tạo vỏ bọc, vì quá trình sử dụng thiết bị trong môi trường có nhiệt độ cao rất khắc nghiệt. Nếu vỏ bọc bị biến dạng, điều đó sẽ gây ra vấn đề. Vỏ bọc kém chất lượng sẽ khiến tia hồng ngoại lan ra khỏi khu vực sạch, khiến hệ thống điều hòa phải hoạt động hết công suất để bù đắp, và chi phí điện sẽ tăng vọt.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng phương pháp uốn và hàn chính xác. Chúng tôi muốn vỏ bọc có khả năng chống thấm tuyệt đối, để nhiệt lượng được giữ lại trên wafer, chứ không lan ra khắp căn phòng.
Bí quyết nằm ở khả năng phản xạ ánh sáng
Chúng tôi không chọn bất kỳ loại thép nào một cách tùy tiện. Chúng tôi chú trọng đến cấu trúc bên trong của vỏ bọc để đảm bảo khả năng phản xạ ánh sáng tốt nhất.
Bằng cách tập trung tia hồng ngoại một cách hiệu quả hơn, chúng tôi có thể giảm công suất của đèn mà không làm giảm nhiệt độ bề mặt của wafer. Như vậy, hiệu suất vẫn được duy trì, nhưng mức tiêu thụ năng lượng lại giảm. Đó chính là giải pháp tốt cho cả hai bên.
Tìm điểm cân bằng
Tuy nhiên, vẫn có một sự đánh đổi cần xem xét. Thép không gỉ dày sẽ tăng khối lượng nhiệt. Điều đó có nghĩa là khi bắt đầu hoạt động, hệ thống cần thời gian lâu hơn để đạt đến nhiệt độ mong muốn.
Việc chọn độ dày của vỏ bọc cũng rất quan trọng. Nếu quá mỏng, vỏ bọc sẽ rung động hoặc bị thấm nước. Nếu quá dày, thì tốc độ phản ứng của hệ thống sẽ bị chậm lại. Bạn cần tìm được điểm cân bằng phù hợp.
Thiết kế để hoạt động hiệu quả
Chúng tôi thiết kế những vỏ bọc này để thay thế cho những thiết bị sưởi cũ kỹ và kém hiệu quả. Chúng tôi thiết kế chúng sao cho có khả năng phân bổ nhiệt đều khắp bề mặt wafer. Nếu độ chính xác của các thông số không đạt yêu cầu, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng, và điều đó sẽ khiến wafer bị hỏng. Không ai muốn vứt bỏ một lô wafer chỉ vì vỏ bọc chưa được chế tạo đúng cách.