فیبریکیشن لائن پر، جیسے ہی ویفر حتمی دھونے کے عمل سے باہر آتا ہے، وقت شروع ہو جاتا ہے۔ اگر خشک کرنے کے عمل میں کوئی تاخیر ہو تو اس سے ویفر پر نقصانات پہنچ سکتے ہیں، اور یہ ذرات براہ راست لیتھوگرافی اور ایچنگ کے عمل میں جا سکتے ہیں۔ ہمارے ہول سیل ویفر خشک کرنے والے لیمپ، اس قسم کی غیر یقینی صورتحالوں کو دور کرنے کے لئے بنائے گئے ہیں۔ یہ لیمپ، خشک کرنے کے عمل کے دوران درجہ حرارت کو مستقل رکھتے ہیں، تاکہ فوٹو ریزسٹ کی خصوصیات ہر بار یکساں رہیں۔
دراصل، اصل اہمیت اس بات میں ہے کہ ویفر کو مناسب درجہ حرارت پر خشک کیا جائے۔ ہم چھوٹی اور درمیانی لہروں والے انفرا ریڈ ذرائع کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ پانی اور فوٹو ریزسٹ کے محلولوں کو مناسب طریقے سے خشک کیا جا سکے۔ ویفر کے اوپر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور درجہ حرارت کو مستقل رکھنے کے لئے خصوصی اقدامات کئے گئے ہیں۔ کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق، یہ لیمپ کم گیس اخراج کے ساتھ، بند ہونے والے کنٹینرز اور مثبت دباؤ والی ہوا کے ذریعے بنائے گئے ہیں، تاکہ ذرات کی پیداوار کو کم کیا جا سکے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی، لیمپ کی کارکردگی مستقل رہتی ہے، اور اس کی شدت میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے۔ انٹیگریٹڈ کیلیبریشن روٹینز اور PLC انٹرلاکس کی بدولت، ہر بار درجہ حرارت کو مستقل رکھا جاتا ہے، اور لیمپ اور ریفلیکٹر کی ساخت کی بدولت توانائی کی کھپت کم رہتی ہے۔
آپ کو ایسا خشک کرنے کا نظام درکار ہے جو مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھ سکے، بغیر کسی تاخیر کے۔ یہ لیمپ، درجہ حرارت کو مستقل رکھ کر، ویفر کو مناسب طریقے سے خشک کرتے ہیں۔ جب کنارے سے درمیان کا درجہ حرارت یکساں ہو جاتا ہے، تو عمل آسان ہو جاتا ہے۔ اس طرح فوٹو ریزسٹ کی موٹائی مستقل رہتی ہے، خرابیاں کم ہو جاتی ہیں، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ مطلوبہ درجہ حرارت پر جلدی پہنچ جاتا ہے، اور اسے مستقل طور پر برقرار رکھتا ہے۔
لیمپ کی کارکردگی کو آپ کے سبسٹریٹ اور کنٹینر کے مطابق ڈھالنے کے لئے، پاور ڈینسٹی، اسپیکٹرل ریسپونس، اور ماؤنٹنگ جیومیٹری کا خیال رکھنا ضروری ہے۔ ہم نظام کا سائز، ویفر کے قطر، بیکنگ کے وقت، اور کلین روم کلاس کے مطابق طے کرتے ہیں، اور معیاری PLC اور سیفٹی انٹرلاکس کے ساتھ انٹرفیس فراہم کرتے ہیں۔ لیمپ کو مناسب طریقے سے گرم کرنے اور ٹھنڈا کرنے کے لئے خصوصی اقدامات کئے گئے ہیں، تاکہ لیمپ اور ویفر کو کوئی نقصان نہ پہنچے۔ یقین کریں کہ آپ کا ایگزوسٹ اور کولنگ سسٹم، لیمپ کے کنٹینر کے مطابق ہے۔ جب انٹیگریشن صحیح طریقے سے کیا جاتا ہے، تو یہ یونٹ 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور کم سے کم بندش کے وقت کے ساتھ۔