لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی کرنٹ ڈائمینشن میں تبدیلی کا سبب بن سکتا ہے، جس سے بہت سے ویفرز خراب ہو جاتے ہیں۔ کلاس 1–100 کے کلین روم میں، ہیٹر کو ایسا درجہ حرارت فراہم کرنا ہوتا ہے جو مستقل رہے، اور کسی قسم کے ذرات کا اخراج نہ ہو۔ ہم نے اپنے کلین روم اوونوں میں انفراریڈ ہیٹرز استعمال کیے، تاکہ یہ عمل کے لئے بنیادی عنصر بن سکیں، نہ کہ صرف اضافی عنصر۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے اور درست سپیکٹرل کنٹرول والے شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر اور کیریئر کو براہِ راست حرارت ملے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں کے ذریعے۔ اس سے ویفر پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے، اور لوڈ کے دوران یہ درجہ حرارت ±0.2°C سے بہتر رہتا ہے۔ ایک بار پروسیس کرنے کے بعد درجہ حرارت کی استقامت 0.3°C سے کم رہتی ہے، تاکہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں استحکام برقرار رہے۔
ہیٹر پیکیج کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے: کم گیس اخراج والے مواد، سیلڈ جوڑ، اور ایسی بیرونی سطح جسے صاف کیا جا سکے بغیر کسی آلودگی کا خطرہ نہ ہو۔ آؤٹ پٹ کو سولڈ-اسٹیٹ ریلےز کے ذریعے کنٹرول کیا جاتا ہے، اور ہر یونٹ کے ساتھ ایک کیلیبریشن کرور بھی دیا جاتا ہے۔
پروڈکشن میں اس کی کیوں اہمیت ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں درجہ حرارت کا کنٹرول بہت اہم ہے۔ ہمارے انفراریڈ ہیٹرز ویفر کو جلدی گرم کرتے ہیں، اور پھر اس درجہ حرارت کو برقرار رکھتے ہیں، جس سے بیکنگ کا عمل مختصر ہو جاتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے۔ اس ڈیزائن کی وجہ سے ذرات کی پیداوار تقریباً صفر رہتی ہے، لہذا آپ کو درجہ حرارت کنٹرول کے لئے اضافی لاگت نہیں ادا کرنی پڑتی۔
حرارت صرف اسی جگہ جاتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے، نہ کہ ارد گرد کی ہوا میں، اس لئے توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔ حقیقی پروڈکشن میں، یہ سسٹم 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور تھرمل سائیکلنگ کی وجہ سے کوئی غیرمتوقع رکاوٹ نہیں آتی، اور مرمت کا عمل بھی پیشن گوئی کے مطابق ہی ہوتا ہے۔
آپ کو کیا منصوبہ بندی کرنی ہے؟
انسٹالیشن کے لئے، اوون کنٹرولر کے انٹرفیس کو مطابقت دینا ضروری ہے، اور موجودہ فیڈر کے مطابق وولٹیج اور کرنٹ کی تصدیق کرنی ہوگی۔ PID لوپ کو اپنے کیریئر کے وزن اور تھرمل لوڈ کے مطابق ٹیون کرنے کے لئے تیزی سے کام کرنا ضروری ہے۔
یہ ہیٹرز لائن وولٹیج کی استحکام کے لحاظ سے حساس ہیں – لہذا سپلائی کو منظم رکھنا ضروری ہے، تاکہ کسی قسم کی تغیّرات درجہ حرارت میں تغیّر کا سبب نہ بنیں۔ اور عناصر کی جانچ کو آپریشن کے اوقات کے مطابق کرنا ضروری ہے، نہ کہ کیلنڈر کے وقت کے مطابق، تاکہ یکسانیت برقرار رہے۔