Чому ми відмовляємося від теплого повітря на користь інфрачервоного опалення у процесі обробки напівпровідників
Уявіть собі, як працює конвективна піч: спочатку нагрівається повітря, а потім це повітря нагріває пластину. Це повільний процес. У світі складної обробки така затримка є марною тратою грошей.
Саме тому ми припинили використовувати великогабаритні вентилятори та перейшли на інфрачервоне опалення. Замість того, щоб нагрівати приміщення, енергія подається безпосередньо на сам матеріал.
Час постійно йде
Конвекція – це просто повільний процес. Доводиться чекати кілька хвилин, поки камера досягне потрібної температури. За допомогою інфрачервоних ламп це відбувається за секунди. Це майже миттєво. Оскільки не витрачається час на нагрівання повітря навколо деталі, час обробки значно скорочується. Кожну годину можна обробити більше пластин, не потрібно будувати більшу стерильну кімнату.
Правильна температура
Тепле повітря має тенденцію до нерівномірного розподілу температури: тут жарко, там холодно – температура ніколи не є ідеально рівною.
Інфрачервоне опалення – це інший варіант. Ми можемо контролювати розподіл тепла. Використовуючи лампи з певною довжиною хвилі, яка підходить для вашого матеріалу, можна досягти більш рівномірного поглинання тепла.
Ми використовуємо галогенні філаменти всередині кварцових корпусів, щоб досягти такої щільності тепла. Вони здатні створювати велику кількість енергії в дуже малих об’ємах. Якщо поєднати їх з контролерами швидкого вимикання, можна коригувати температуру в реальному часі.
Недоліки (адже вони завжди є)
Інфрачервоне опалення не є загадковим рішенням для всіх проблем. Оскільки енергія подається дуже інтенсивно, легко перевищити потрібну температуру, якщо система контролю не налаштована правильно.
Також потрібно правильно налаштувати систему захисту. Якщо відбивачі не налаштовані правильно, тепло буде надходити на корпус пристрою, а не на пластину. Крім того, потрібна система охолодження, яка зможе ефективно контролювати інтенсивне тепло біля корпусу лампи. Інакше компоненти можуть бути пошкоджені.
Проте для будь-якої компанії, яка хоче позбутися старих конвективних печей, це є найкращим рішенням. Це дозволяє уникнути затримок у процесі обробки.