Sınıf 100 temiz odaların sürekli temiz kalmasını sağlamak
Sınıf 100 temiz odasında çalışırken ısıtma işlemi sadece ortamı ısıtmakla ilgili değildir; bu, parçacıklarla mücadele anlamına gelir.
Yarı iletken üretim tesislerinde durum daha da ciddidir. Birazcık gaz salan malzeme veya tek bir metal parçası bile waferin zarar görmesine neden olabilir. Bunu önlemek için yüksek saflıkta sentetik kuvars ve Teflon kaplı kablolar kullanılır.
Kuvarsın avantajları
Kızılötesi lambalar için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanılır; çünkü bu malzeme gaz salmaz. Standart cam veya ucuz malzemeler ise sıcak olduğunda gaz salar. Bu da temiz odalarda büyük bir sorundur. Sentetik kuvars ise aynı özelliklerini korur; aşırı sıcaklıklarda bile katı kalır ve mikroskobik parçacıkların ortama karışmasını engeller.
Kabloları göz ardı etmeyin
Isıtma elemanları sadece işin yarısını oluşturur. Genellikle ilk bozulan kısımlar kablolardır. Bu ısıtıcılar için Teflon (PTFE) kaplı kablolar kullanılır; çünkü bu kablolar radyasyonlu ısıya maruz kaldığında duman çıkarmaz veya bozulmaz. Eğer standart PVC kullanılırsa, kablo kaplamaları eriyerek havaya VOC’ler salınır. Bu da iyi bir durum değildir. Teflon ise stabil kalır. Ayrıca kablolar dikkatlice bağlanır ki kurulum sırasında herhangi bir sürtünme veya parça dökülmesi olmasın.
Eksileri (çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Yüksek saflıkta kuvars, borosilikat malzemelere göre daha kırılgandır. Herhangi bir eldiven kullanamazsınız; tozsuz ekipmanlar kullanmak zorundasınız, aksi takdirde sorun yaşarsınız.
Ayrıca Teflon kaplı kablolar ısı için harika olsa da, bükülme şekline dikkat edilmesi gerekir. Kurulum sırasında kablolar bükülürse izolasyon bozulabilir. Yavaş hareket etmek gerekir.
Bu sistem nasıl çalışır?
Bu lambalar, hassas ve kısa dalga boyundaki kızılötesi enerji yayınlar. Bunun avantajı, substratın doğrudan ısıtılmasıdır. Hava veya oda duvarlarını ısıtmak için enerji israf edilmez. Böylece HVAC sistemi fazla çalışmak zorunda kalmaz ve parçacık sayısı kontrol altında tutulur.
Çok hızlıdır. Ve küçük yarı iletken ekipmanlara sığabilecek kadar kompakttır.