Wafer’leri kurutmak için doğru yansıtıcıyı seçmek
Yarı iletken fabrikalarında wafer’leri kuruturken aslında ısıyla tehlikeli bir oyun oynuyorsunuz. Bir hata yaparsanız waferlerde bükülme veya kimyasal kirlenme meydana gelir.
İşte bu yüzden kızılötesi (IR) yöntemini kullanıyoruz. Bu yöntemde enerji doğrudan substratın üzerine gönderilir. Dolaşan sıcak hava veya zararlı çözücülerle uğraşmaya gerek kalmaz. Bu yöntem daha temiz ve verimlidir; ayrıca atıkları ortadan kaldırarak hepimizin hedeflediği “yeşil” standartlara da uygundur.
Yansıtıcının neden önemli olduğu
İşin aslı şu: Tek başına bir kızılötesi lamba oldukça düzensiz bir şekilde enerji yayıyor. Enerjinin yarısı boşa gidiyor. Bunu, yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı yansıtıcılar kullanarak çözüyoruz. Bunlar boşa giden enerjiyi yakalayıp tekrar wafer’in üzerine yansıtıyor. Böylece ısı akışını ikiye katlamış oluyoruz. Bu yansıtıcıları özellikle kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar için ayarlıyoruz; böylece ısı fotoresist veya kurutucu maddelere etki ederken waferin zarar görmesini engelliyoruz.
Isıyla başa çıkmak
Yüksek güçlü lambalar inanılmaz derecede sıcak olur. Eğer yansıtıcınız mükemmel bir parabolik veya elips şeklinde değilse, silisyum üzerinde “sıcak noktalar” oluşur. Eğri bir açı ise eşit olmayan kuruma ve bozulmuş ürünler anlamına gelir. Ayrıca bu durum fizik kurallarıyla da mücadele gerektirir. Eğer yansıtıcı ısıdan dolayı形 değiştirirse, odak noktası da değişir. Her şey altüst olur. İşte bu yüzden yansıtıcıların yoğun ısı koşullarında bile şeklini korumasını sağlıyoruz.
Değerlendirme (Dikkat edilmesi gerekenler)
“Daha fazla yansıtma gücü = daha iyi” diye düşünebilirsiniz, ancak işler o kadar basit değil. Bu yüksek kaliteli kaplamalar oldukça kırılgandır. Temizlik sırasında aşındırıcı kimyasallar kullanırsanız yansıtıcı tabaka tamamen zarar görür. Lütfen dikkatli olun. Ayna gibi parlak bir yüzey elde etmek için sıkı bir temizlik protokolüne uyun. Bir diğer ipucu ise: Daha yüksek ısı yoğunluğu, güç kaynaklarınızın ve soğutma fanlarının daha çok çalışması anlamına gelir. Kabinin havalandırmasını mutlaka kontrol edin. Eğer fanlar yeterli değilse, oldukça pahalı bir fırın yaratmış olursunuz.