Cam parçalarının oluşumunu engelleyin: Wafer işlemlerini temiz tutun
Eğer yüksek yük altında çalışırken bir lambanın patladığını yaşadıysanız, bu durumun ne kadar rahatsız edici olduğunu biliyorsunuzdur. Sadece işin durması değil, aynı zamanda tüm waferlerin boşa gitmesi de büyük bir sorundur; çünkü çalışma alanı aniden cam parçaları ve kimyasal maddelerle dolup gider. Bu durum oldukça karmaşık ve pahalı bir durumdur.
Bunu önlemek için ozonsuz kızılötesi lambalar ürettik.
Ozonla ilgili bilgiler
Standart kısa dalga lambaları, 200nm’nin altındaki dalga boylarını yaymaktadır. Bu teknik bir detay gibi görünse de, gerçekte bu dalga boyları havadaki oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur. Temiz odalarda ozon tam bir felakettir; çünkü oksitleyicidir ve organik malzemeleri tahrip eder. Bu sorunu çözmek için özel kuvars kaplamalar kullandık. Bu kaplamalar, vakum ultraviyole dalga boylarını engeller. Böylece hızlı kuruma için gerekli olan yüksek ısı elde edilir, ancak kötü kimyasal etkiler ortadan kalkar.
Lambalar neden patlar?
Yüksek yüklu çalışmalar kuvars için oldukça zordur. Termal stres çok yüksektir. Lambalar genellikle filamanın buharlaşıp incelmesi sonucu patlar. Bunu önlemek için yüksek saflıkta halojen gazları kullanıyoruz. Bu sayede filaman sabit kalır ve erken aşınma olmaz.
Ayrıca mühürleme konusu da önemlidir. lamba maksimum güçte çalışırken, lambanın merkezi ile uçları arasındaki sıcaklık farkı çok büyüktür. Eğer mühürleme zayıfsa, sızıntı buradan başlar. Bu sorunu çözmek için uç kısımlarımızı güçlendirdik; böylece sıcaklık arttığında bile iç basınç sabit kalır.
Dikkat edilmesi gereken birkaç nokta
Unutmayın ki hiçbir lamba kusursuz değildir. Ozonsuz kuvars lambalarımızın filtreleme özelliği olduğundan, ışık çıkışı normal kuvars lambalardan biraz farklıdır. Muhtemelen gücü %2-5 oranında artırmanız veya zaman ayarlarınızı değiştirerek istediğiniz sıcaklığa ulaşmanız gerekebilir.
Ayrıca bir ipucu: Soğutma fanlarınızı mutlaka kontrol edin. Lambanın uçlarındaki ısıyı yönetebilecek durumda olduklarından emin olun; böylece elektrik kontaklarınız zarar görmez.