บนชั้นผลิต อุปกรณ์ฝังไอออนหรือเครื่องอบโฟโตรเรซิสต์ต้องทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีการสะดุด หากฮีตเตอร์ตัวใดตัวหนึ่งเริ่มทำงานต่ำกว่ามาตรฐาน...

บนไลน์การผลิต อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงโดยไม่มีสัญญาณเตือนไม่แสดงด้วยป้ายเตือน มันปรากฏในรูปของความแปรผันของความกว้างเส้น...