การรักษาความสะอาดของแผ่นเวเฟอร์ให้อยู่ในสภาพดีเสมอ
เมื่อคุณทำการอบแห้งแผ่นเวเฟอร์สำหรับเซ็นเซอร์ MEMS แล้ว ความร้อนเป็นเพียงส่วนหนึ่งของกระบวนการเท่านั้น ปัญหาที่แท้จริงคือการเกิดอนุภาคสกปรกต่างๆ ในห้องปลอดภัยระดับ Class 100 แม้แต่เศษฝอยเล็กๆ จากไส้หลอดไฟหรือกาวที่หลุดออกมาก็สามารถทำลายเซ็นเซอร์ทั้งชุดได้ในพริบตา ซึ่งเป็นเรื่องน่าหงุดหงิด มีค่าใช้จ่ายสูง และสามารถหลีกเลี่ยงได้
นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง หลอดไฟเหล่านี้ไม่ก่อให้เกิดสิ่งสกปรกได้เลย
เหตุผลที่ควอตซ์เหมาะสมสำหรับการใช้งาน
หลอดไฟส่วนใหญ่มักใช้วัสดุโลหะหรือเซรามิก ปัญหาคือวัสดุเหล่านี้มักจะปล่อยอนุภาคขนาดเล็กออกมาเมื่อเวลาผ่านไป
แต่หลอดไฟควอตซ์ของเราทำงานแตกต่างออกไป โดยใช้หลักการถ่ายเทความร้อนแบบรังสี ซึ่งทำให้ความร้อนถ่ายเทจากไส้หลอดไฟไปยังแผ่นเวเฟอร์โดยตรง ไม่มีสิ่งกั้นกลางที่จะทำให้เกิดสิ่งสกปรกได้ เราใช้ควอตซ์คุณภาพสูงเพื่อให้แก้วไม่แตกหรือปล่อยก๊าซออกมา แม้ในสภาพอุณหภูมิสูงก็ตาม
ข้อเสีย: กำลังไฟกับความร้อน
ปัญหาคือ เพื่อให้ได้อัตราการอบแห้งที่รวดเร็ว เราจำเป็นต้องใช้กำลังไฟสูงในพื้นที่จำกัด
วิธีนี้ได้ผลดี แผ่นเวเฟอร์จะแห้งได้อย่างรวดเร็ว แต่ก็มีข้อเสียคือพื้นผิวของหลอดไฟจะร้อนมาก หากพัดลมระบายความร้อนไม่เพียงพอ ก็อาจทำให้ส่วนประกอบของเครื่องร้อนเกินไปได้ ก่อนที่จะติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้เข้าไปในเครื่อง ควรตรวจสอบอัตราการไหลของอากาศให้ดีก่อน จะช่วยให้คุณไม่ต้องมาปวดหัวในภายหลัง
การทำให้การใช้งานง่ายขึ้น
เราทราบดีว่าเวลาที่เครื่องหยุดทำงานเป็นสิ่งที่ไม่ควรเกิดขึ้น ดังนั้นเราจึงออกแบบหลอดไฟให้สามารถเปลี่ยนได้ง่าย เราใช้ขั้วต่อมาตรฐาน ดังนั้นเมื่อหลอดไฟหมดอายุการใช้งาน คุณก็เพียงแค่ถอดมันออกแล้วใส่หลอดใหม่เข้าไป ไม่จำเป็นต้องใช้เวลาหลายชั่วโมงในการปรับแต่งระบบใหม่
นอกจากนี้ เรายังปรับปรุงคุณภาพของควอตซ์เพื่อไม่ให้เกิดรอยบนพื้นผิว ซึ่งจะช่วยให้ความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอทั่วแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งมีความสำคัญมากสำหรับแผ่นเวเฟอร์ที่มีความบางมาก ซึ่งอาจเกิดการบิดเบี้ยวได้หากมีจุดร้อนเกิดขึ้น
เคล็ดลับสุดท้าย: รักษาความสะอาดของแก้วให้ดี หากมีรอยนิ้วมือหรือน้ำมันจากผิวหนังติดอยู่บนควอตซ์ระหว่างการติดตั้ง มันจะฝังอยู่ในแก้วไปเลย และจะทำให้เกิดจุดเย็นขึ้น คุณจะต้องเปลี่ยนหลอดไฟใหม่ ดังนั้นควรใส่ถุงมือและรักษาความสะอาดของแก้วให้ดี ก็จะไม่มีปัญหาอะไร