На производственной линии для обработки Wafer на уровне самого кристалла недопустимы колебания температуры во время обработки фоторезиста или его сушки. Изменение температуры на 1°C может привести к изменению критических размеров кристалла. Кроме того, остатки влаги после очистки также могут негативно повлиять на качество продукции. Поэтому мы разработали инфракрасные нагреватели для этих этапов обработки – здесь контроль температуры имеет решающее значение.
Что важно с технической точки зрения Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение для быстрой и бесконтактной обработки кристалла при одинаковой температуре ±0,1°C по всей его поверхности. Светоизлучающие элементы из кварца и галогена направляют энергию прямо в фоторезист и подложку, что позволяет сохранять стабильную температуру и точный профиль нагрева. Вы можете задать нужную температуру, а датчикы будут контролировать её на протяжении всего процесса обработки. Это обеспечивает стабильную толщину слоя фоторезиста и отсутствие дефектов после очистки.
Устройство разработано для использования в чистых комнатах класса 1–100: отсутствие частиц, материалы с низким уровнем выделения газов, а также гладкая поверхность, которую можно легко очистить. Устройство работает круглосуточно при условии регулярного технического обслуживания, что исключает неplanовые простои.
Почему это подходит для данного процесса Этот нагреватель решает проблемы, связанные с сушкой кристаллов, обработкой фоторезиста и последующей закреплением слоя фоторезиста. Быстрый нагрев сокращает время цикла обработки без перегрева. Стабильная температура минимизирует изменчивость структуры фоторезиста и образование дефектов на его краях.
Энергопотребление снижается, так как нагреватель включается только тогда, когда это необходимо, а теплоемкость устройства невелика. Это обеспечивает стабильную толщину слоя фоторезиста, уменьшает количество дефектов после очистки и позволяет выполнять процесс обработки в больших объемах. В результате получается более высокий процент готовой продукции и меньше отходов – все это связано с точным контролем температуры.
Что нужно знать Для правильной установки необходимо соблюдать спецификации интерфейсов устройства: типы креплений, соединители и напряжение должны соответствовать характеристикам вашей платформы. Нагреватель будет работать наиболее эффективно, если путь распространения излучения будет свободным, а отражающие поверхности будет контролироваться. В противном случае могут возникнуть «горячие точки».
Необходимо регулярно калибровать пирометр и соблюдать график замены нагревателей. Таким образом можно сохранять стабильную температуру ±0,1°C и контролировать процесс обработки.