Прекратите нагревать вакуумную камеру — начните нагревать саму пластинку. Если вы когда-либо использовали мощные инфракрасные лампы в вакуумной камере для обработки полупроводников, вы знаете, с какими трудностями это связано. Приходится постоянно бороться с избыточным теплом. Проблема в том, что стандартные лампы излучают энергию во все стороны — на 360 градусов. В условиях высокого вакуума большая часть этого тепла даже не достигает пластинки; оно отражается от стенок камеры. Таким образом, тратится много энергии, а поверхность оборудования становится настолько горячей, что может привести к ожогам.
Решение заключается в направленном нагреве. Вместо обычных кварцевых труб мы используем отражающие покрытия или параболические отражатели, чтобы направить инфракрасное излучение именно туда, где это необходимо. Это позволяет сосредоточить энергию в одной точке. Это простое решение, но оно меняет всё. Теперь не нужно нагревать всю камеру — достаточно сосредоточиться только на самой пластинке.
Конечно, можно использовать любую лампу, но мы предпочитаем использовать коротковолновые инфракрасные излучатели. Они лучше справляются с условиями вакуума и более эффективно взаимодействуют с полупроводниковыми материалами. Но будьте осторожны: следите за плотностью излучения. Поскольку эти лампы концентрируют тепло, при некорректном расположении фокуса могут возникнуть очень высокие температуры. Чтобы избежать этого, я настоятельно рекомендую использовать контроллер PID в сочетании с пирометром с быстрой реакцией. Если вы будете увеличивать мощность без правильной настройки, это может привести к повреждению краев пластинок.
Самое лучшее в этом решении то, что после его применения можно больше не полагаться на огромные системы охлаждения на стенках камеры. Внешняя часть оборудования остается прохладной. Сотрудники не будут рисковать получить ожоги во время технического обслуживания. К тому же вы получаете более высокую производительность, без необходимости вызывать специалистов для усиления системы охлаждения. Это просто работает.