Сокращение выбросов углерода на производстве полупроводников: все зависит от корпуса оборудования
Все заводы по производству полупроводников сейчас сталкиваются с необходимостью достижения целей нулевых выбросов. Очевидным решением является замена старых методов нагрева на более точные системы инфракрасного излучения. Но дело не только в самом излучателе. Настоящая сила заключается в корпусе из нержавеющей стали. Если процесс изготовления корпуса выполнен некачественно, энергия просто тратится впустую.
Необходимо предотвратить утечку тепла
Если вы хотите сократить выбросы углерода, необходимо прекратить трату энергии впустую. Все просто. Мы используем для изготовления корпусов высококачественную нержавеющую сталь, так как процессы теплового воздействия очень сложны. Если корпус деформируется, возникают проблемы. Некачественный корпус позволяет инфракрасному излучению проникать в чистую комнату. Тогда система охлаждения должна работать с максимальной нагрузкой, что приводит к значительному увеличению расходов на энергию. Поэтому мы используем методы точного изгиба и сварки TIG. Нам нужны герметичные замки; желательно, чтобы тепло сохранялось на поверхности пластины, а не разогревало всю комнату.
Секрет заключается в отражении
Мы не используем просто любую стальную пластину. Мы тщательно контролируем внутреннюю геометрию корпуса, чтобы обеспечить максимальную отражаемость излучения. Благодаря этому можно снизить мощность ламп, не снижая при этом температуры на поверхности пластины. Получается такой же уровень производительности, но расход энергии снижается. Это и есть выигрыш для всех.
Необходимо найти правильный баланс
Есть свои недостатки. Сталь толстой толщины увеличивает тепловую массу. Это означает, что при запуске системы требуется больше времени, чтобы она достигла необходимой температуры. Нужно найти правильный баланс между толщиной стенки корпуса. Если стенка слишком тонкая, корпус может деформироваться или иметь утечки. Если стенка слишком толстая, снижается скорость реакции системы. Нужно найти оптимальное решение.
Применение на производстве
Мы разработали эти корпуса так, чтобы они могли заменить устаревшие, неэффективные системы нагрева. Мы использоваем методы высокой плотности передачи тепла, чтобы тепло равномерно распределялось по всей поверхности пластины. Если допуски не соблюдены, возникают «горячие точки». А это приводит к порче пластин. Никто не хочет тратить время и деньги на выбрасывание партий кремния из-за некачественного изготовления корпусов.