Na linha de produção de chips, é essencial que não haja variações de temperatura durante o processamento e secagem do fotorresistente. Uma mudança de 1°C no processo de secagem pode alterar as dimensões críticas do chip. Além disso, qualquer umidade remanescente após a limpeza pode afetar a qualidade final do produto. Por isso, desenvolvemos um aquecedor infravermelho para esses processos – onde o controle térmico é fundamental.
O que é importante, do ponto de vista técnico: Usamos radiação infravermelha de onda curta para aquecer o wafer de forma rápida e sem contato físico, com uniformidade de temperatura de ±0,1°C. O conjunto de emissores de quartzo-halogênio transfere energia diretamente para o fotorresistente e para o substrato, mantendo assim uma temperatura estável. Você pode ajustar a temperatura desejada, e os sensores de controle garantem que ela permaneça constante ao longo de todo o processo, mantendo assim as especificações técnicas.
O equipamento foi projetado para ambientes de classe 1–100: sem geração de partículas, com materiais que emitem pouca substância gasosa, e com superfícies lisas que podem ser facilmente limpas. Ele funciona 24/7, com períodos de manutenção previsíveis, evitando assim interrupções indesejadas no processo.
Por que ele se adapta bem ao processo: Esse aquecedor resolve os principais problemas relacionados à secagem do wafer, ao processo de secagem do fotorresistente e aos passos seguintes do processo. A rápida elevação da temperatura reduz o tempo de ciclo, sem causar excessos. Além disso, a estabilidade térmica diminui a variabilidade no processo de recristalização do fotorresistente.
O consumo de energia também diminui, pois o emissor só ativa quando necessário, e a massa térmica é baixa. Isso resulta em espessura uniforme da camada formada no wafer, menos defeitos após a limpeza, e um processo que funciona bem mesmo em grandes volumes de produção. Os benefícios incluem maior taxa de sucesso na primeira tentativa de produção e menor quantidade de desperdício – tudo graças ao controle preciso da temperatura.
O que você precisa saber: A instalação requer que as interfaces do equipamento estejam alinhadas com as do seu sistema. Os padrões de montagem, os tipos de conectores e a tensão elétrica precisam estar de acordo com as especificações do seu equipamento. O aquecedor funciona melhor quando há uma linha de visão clara e as superfícies refletivas são bem gerenciadas; caso contrário, podem surgir pontos quentes.
É necessário realizar calibrações regulares do pirômetro e seguir o cronograma de substituição dos emissores. Dessa forma, é possível manter a uniformidade de temperatura de ±0,1°C e manter o processo sob controle.