Manter uma sala limpa de classe 100 realmente limpa
Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, o aquecimento não serve apenas para deixar as coisas quentes. Trata-se, na verdade, de uma batalha contra as partículas presentes no ar.
Nas fábricas de semicondutores, as consequências de um erro são graves. Uma pequena partícula de material liberado ou um pedaço de metal pode estragar completamente o wafer. Para evitar isso, utilizamos uma combinação específica: quartzo sintético de alta pureza e fios isolados com Teflon.
O problema com o quartzo
Usamos quartzo sintético de alta pureza em nossas lâmpadas infravermelhas, pois ele não “vaza” substâncias nocivas. O vidro convencional ou materiais baratos tendem a liberar gases quando esquentam. Isso é um desastre em uma sala limpa. Nosso quartzo sintético, por sua vez, permanece sólido, mesmo em temperaturas extremas, sem liberar partículas microscópicas no ambiente de trabalho.
Não subestime os fios
O elemento de aquecimento é apenas parte da solução. Geralmente, são os fios que falham primeiro. Usamos fios revestidos com Teflon (PTFE), por um motivo simples: eles não emitem fumaça nem se degradam sob calor intenso. Se usar fios normais de PVC, eles derretem e liberam substâncias nocivas no ar. Não é nada bom. O Teflon, por sua vez, permanece estável. Além disso, conectamos os fios com cuidado, para que nada esfregue ou se solte durante a instalação.
As desvantagens (pois nada é perfeito)
O quartzo de alta pureza é mais frágil que o borosilicato. Não se pode usar qualquer luva – é preciso usar equipamentos livres de poeira, caso contrário, haverá problemas. E, embora os fios de Teflon sejam ótimos para resistir ao calor, é preciso ter cuidado ao dobrá-los. Se você torcer os fios durante a instalação, pode danificar o isolamento. É preciso ter paciência.
Como funciona na prática
Essas lâmpadas emitem energia infravermelha de onda curta e precisa. A vantagem é que o substrato é aquecido diretamente, sem desperdiçar energia aquecendo o ar ou as paredes da câmara. Isso evita que o sistema de climatização trabalhe demais e mantém a quantidade de partículas no nível adequado. É rápido. Muito rápido. Além disso, essas lâmpadas cabem facilmente nos equipamentos de semicondutores, sem ocupar metade do espaço disponível.