Pare com o “chuveiro de vidro”: mantenha o processo de processamento das wafer’s limpo
Se você já teve que lidar com a quebra de uma lâmpada durante um ciclo de trabalho intensivo, sabe bem como é. Não se trata apenas do incômodo causado pela paralisação do processo. É also um grande problema quando todo um lote de wafer’s acaba sendo desperdiçado, pois o local de trabalho fica repleto de cacos de vidro e resíduos químicos. É um caos total. Um caos caro e problemático.
Criamos nossas lâmpadas infravermelhas sem ozônio justamente para evitar que isso aconteça.
O problema com o ozônio
As lâmpadas de onda curta convencionais emitem comprimentos de onda abaixo de 200nm. Isso parece algo técnico, mas, na prática, esses comprimentos de onda interagem com o oxigênio presente no ar, transformando-o em ozônio. Em uma sala limpa, o ozônio é um verdadeiro pesadelo. Ele é corrosivo e danifica materiais orgânicos, além de interferir no processo de deposição por vapor químico. Resolvemos esse problema usando um revestimento especial de quartzo. Esse revestimento funciona como um filtro, bloqueando esses comprimentos de onda ultravioleta. Assim, você ainda obtém o calor necessário para a cura rápida dos materiais, mas sem os efeitos colaterais químicos indesejados.
Por que as lâmpadas quebram
Os ciclos de trabalho intensivos são muito difíceis para o quartzo. A tensão térmica é enorme. A maioria das lâmpadas falha porque o filamento evapora, ficando mais fino, o que cria pontos críticos que acabam fazendo com que a lâmpada quebre. Para evitar isso, usamos gás halógeno de alta pureza. Isso mantém o filamento estável, evitando seu desgaste prematuro.
Além disso, existem os selos nas extremidades da lâmpada. Quando a lâmpada opera em potência máxima, há uma grande diferença de temperatura entre o centro e as extremidades da lâmpada. Se o selo for fraco, é aí que começa a vazamento. Reforçamos os selos para que a pressão interna permaneça constante, mesmo sob condições extremas de calor.
Algumas coisas importantes a se lembrar
Nenhuma lâmpada é invencível. Como nosso quartzo é livre de ozônio, a saída de luz é um pouco diferente daquela obtida com quartzo puro. Talvez seja necessário aumentar a potência em 2-5%, ou ajustar os temporizadores para alcançar a temperatura desejada.
Outra dica: verifique bem seus ventiladores de resfriamento. Certifique-se de que eles conseguem lidar com o calor gerado nas extremidades da lâmpada, para que os contatos elétricos não sejam danificados.