Na linii produkcyjnej typu CSP na poziomie płytki krzemowej nie można sobie pozwolić na wahania temperatury podczas obróbki czy suszenia fotoodpornika. Nawet niewielka odchylenie o 1°C może wpłynąć na krytyczne wymiary płytki, a nadmiar wilgoci po czyszczeniu negatywnie wpływa na jakość produktu. Dlatego stworzyliśmy grzałkę podczerwieni do tych procesów – tam temperatura jest naprawdę kluczowa.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Wykorzystujemy falę krótką podczerwieni, aby szybko i bezkontaktowo dostarczyć energię do płytki, przy jednoczesnym zachowaniu jednolitości temperatury na poziomie ±0,1°C. Emisory kwarcowo-halogenowe dostarczają energię bezpośrednio do fotoodpornika i podłoża, dzięki czemu opóźnienie termiczne jest minimalne, a profil ogrzewania precyzyjny. Można ustawić temperaturę, a czujnik w obwodzie zamkniętym utrzymuje ją na tym poziomie przez cały proces – wtedy szerokość warstwy fotosensytywnego materiału oraz ilość pozostałości są w normie.
Urządzenie zostało zaprojektowane do pracy w środowisku klasy 1–100: nie powstają żadne cząsteczki, materiały mają niską emisję gazów, a powierzchnia jest gładka, więc można ją łatwo czyścić. Urządzenie pracuje 24/7, z przewidywalnymi oknami konserwacji, więc nieplanowane przerwy nie stanowią problemu.
Dlaczego to rozwiązanie jest odpowiednie dla tego procesu
Ta grzałka eliminuje problemy związane z suszeniem płytek, obróbką fotoodpornika oraz jego dalszą utwardzaniem. Szybkie dostosowanie temperatury skraca czas procesu, a stabilna temperatura zmniejsza zmienność warstwy fotosensytywnego materiału. Zużycie energii jest niskie, ponieważ emisory włączają się tylko wtedy, gdy to konieczne, a masa cieplna urządzenia jest mała. W rezultacie uzyskuje się jednolitą grubość warstwy, mniej defektów po czyszczeniu, a proces może przebiegać efektywnie nawet przy dużych ilościach produktów. Wynikiem jest wyższa jakość produktu i mniej odpadów – co jest bezpośrednio związane z kontrolą temperatury.
Co należy wiedzieć
Instalacja polega na dostosowaniu interfejsów urządzenia do specyfikacji Twojej platformy: wzór montażu, rodzaj złączy oraz napięcie muszą pasować do Twoich wymagań. Urządzenie funkcjonuje najlepiej, gdy droga promieniowania jest wolna od przeszkód, a powierzchnie odbijające światło są dobrze zarządzane – w przeciwnym razie mogą pojawić się punkty o wysokiej temperaturze.
Należy regularnie kalibrować pomiarów temperatury oraz przestrzegać harmonogramu wymiany emisorów. Dzięki temu zachowana zostanie jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, a proces będzie pod kontrolą.