W procesie litografii wystarczy półstopniowy zmiany temperatury podczas procesu wysuszania fotorezystu, aby doszło do odchylenia od wymaganych wartości i zniszczenia wielu płytek krzemowych. W pomieszczeniach klasy czystości 1–100 grzałka musi zapewniać stabilną temperaturę, bez wydzielenia cząstek lub innych zakłóceń. Nasze grzałki podczerwieni zostały zaprojektowane tak, aby stanowiły element kluczowy w tym procesie, a nie dodatek.
Co jest istotne pod względem technicznym Wykorzystujemy elementy podczerwone o krótkich falach długości, które charakteryzują się szybką reakcją i precyzyjnym kontrolowaniem spektrum. Dzięki temu ciepło trafia bezpośrednio na płytkę krzemową, a nie na ścianki komory. To zapewnia jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w całej strefie obróbki, a stabilność temperatury wynosi ponad ±0,2°C przy obciążeniu. Powtarzalność temperatury pomiędzy poszczególnymi sesjami obróbki wynosi mniej niż 0,3°C, dzięki czemu parametry procesu pozostają stałe.
Grzałki są przygotowane do użytku w pomieszczeniach o wysokiej czystości: używane są materiały o niskiej emisji gazów, uszczelnione połączenia, a powierzchnia grzałki można łatwo wyczyścić, bez ryzyka pozostania na niej zanieczyszczeń. Moc grzałki jest sterowana za pomocą przełączników typu solid-state, z możliwością monitorowania parametrów w czasie rzeczywistym. Każda jednostka jest dostarczana z dokładną krzywą kalibracji.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w produkcji Proces obróbki fotorezystu wymaga precyzyjnego kontroli temperatury. Nasze grzałki szybko podnoszą temperaturę płytki krzemowej, a następnie utrzymują ją na żądanej wartości, unikając nadmiernych zmian temperatury. To skraca czas obróbki i chroni profil właściwości fotorezystu. Projekt sprawia, że generowanie cząstek jest minimalne, więc nie tracimy efektywności produkcji z powodu problemów z kontrołą temperatury.
Ciepło trafia tam, gdzie jest potrzebne, a nie do otaczającego powietrza, co redukuje zużycie energii. W rzeczywistej produkcji system pracuje 24/7, bez przerw spowodowanych awariami, a konserwacja jest przewidywalna, a nie reaktywna.
Na co należy zwrócić uwagę podczas planowania Instalacja polega na dostosowaniu interfejsu sterownika pieca oraz sprawdzeniu napięcia i prądu w stosunku do istniejących źródeł zasilania. Oczekuj szybkiego okna czasowego na dostrojenie układu PID do specyfiki płytki krzemowej i obciążenia termicznego.
Te grzałki są wrażliwe na stabilność napięcia – należy utrzymać stabilne zasilanie, aby przejściowe zmiany nie wpływały negatywnie na temperaturę. Ponadto należy planować inspekcję grzałek według godzin pracy, a nie według kalendarza, aby zachować jednorodność temperatury tam, gdzie jest to konieczne.