Stop de ‘glasregen’: houd het proces van het bewerken van wafer’s schoon
Als je ooit te maken hebt gehad met een lamp die kapotging tijdens een intensieve gebruiksperiode, weet je wat dat voor effect heeft. Het gaat niet alleen om de irritatie van de stilstand die hierdoor ontstaat. Het is ook vreselijk om te zien hoe een hele lading wafer’s verloren gaat, omdat het werkgebied plotseling bedekt is met glasdeeltjes en chemische resten. Het is een enorme chaos – en bovendien een kostbare chaos.
Wij hebben onze ozonvrije infraroodlampen speciaal ontworpen om dit te voorkomen.
Het probleem met ozon
Bij standaard kortgolflampen wordt er licht uitgestraald met golflengten onder de 200 nm. Dat klinkt als een technisch detail, maar in werkelijkheid zorgt dit voor een reactie met het zuurstof in de lucht, waardoor ozon wordt gegenereerd. In een schone ruimte is ozon een nachtmerrie: het is corrosief en kan organisch materiaal beschadigen. We hebben dit opgelost door gebruik te maken van een speciaal kwartsomhulsel. Dit omhulsel fungeert als filter en blokkeert de schadelijke UV-golflengten. Je krijgt nog steeds genoeg warmte voor een snelle droogtijd, zonder de negatieve chemische effecten.
Waarom lampen kapotgaan
Intense gebruiksperioden zijn zwaar voor kwarts. De thermische stress is groot. De meeste lampen gaan kapot omdat het filament verdampt en dunner wordt, waardoor er een ‘ hete plek’ ontstaat die uiteindelijk tot een explosie kan leiden. Om dit te voorkomen, gebruiken we halogeengas van hoge zuiverheid. Dit gas zorgt ervoor dat het filament stabiel blijft en niet te snel slijt.
Verder zijn er nog de sluitingen van de lamp. Wanneer de lamp op maximale vermogens werkt, is er een grote temperatuurverschil tussen het midden van de lamp en de uiteinden. Als de sluitingen zwak zijn, zal er lekken optreden. We hebben onze sluitingen versterkt zodat ze deze spanning kunnen weerstaan, zodat de interne druk constant blijft, zelfs bij extreme temperaturen.
Enkele punten om in gedachten te houden
Kijk, geen enkele lamp is onkwetsbaar. Omdat onze ozonvrije kwartslampen een filterlaag hebben, verschilt de lichtsterkte iets van die van gewone kwartslampen. Het kan nodig zijn om de vermogensinstellingen iets aan te passen of de tijdsinstellingen te corrigeren om de gewenste temperatuur te bereiken.
Een tip: controleer altijd of je koelventilatoren goed werken. Zorg ervoor dat ze de hitte bij de uiteinden van de lamp aankunnen, zodat je geen elektrische schade oploopt.