Hentikan kebiasaan memanaskan sel vakum tersebut (dan mulailah memanaskan wafer tersebut sebaliknya.)
Jika anda pernah menggunakan lampu IR berkuasa tinggi di dalam sel vakum untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya mengawal suhu di sana. Ia merupakan usaha yang berterusan untuk menahan haba yang terhasil.
Masalahnya adalah lampu biasa akan memancarkan tenaga ke semua arah—sekitar 360 darjah. Dalam keadaan vakum yang ketat, sebahagian besar haba tersebut tidak sampai ke wafer. Sebaliknya, haba tersebut akan mengenai dinding sel vakum tersebut. Ini bermakna anda membazirkan banyak tenaga, dan permukaan peralatan menjadi terlalu panas sehingga boleh melukai orang yang bekerja di sana.
Inilah penyelesaiannya: Pemanasan secara terarah.
Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita gunakan lapisan reflektif atau reflektor parabola untuk mengarahkan tenaga IR ke tempat yang sepatutnya. Dengan cara ini, pancaran haba dapat dikurangkan.
Ia merupakan perubahan yang sederhana, tetapi ia dapat mengubah segalanya. Anda tidak perlu lagi mencuba memanaskan keseluruhan mesin, tetapi hanya perlu fokus pada bahagian yang perlu dipanaskan sahaja.
Namun, anda tidak boleh sembarangan memilih lampu yang digunakan. Kita biasanya menggunakan pengeluhar IR gelombang pendek. Lampu jenis ini lebih sesuai untuk digunakan dalam suasana vakum, dan mampu berinteraksi dengan bahan semikonduktor dengan lebih efektif.
Namun, berhati-hati dengan kepadatan tenaga yang digunakan. Lampu ini akan menghasilkan titik panas yang sangat tinggi jika fokusnya tidak tepat, walaupun hanya beberapa milimeter saja. Untuk mengelakkan masalah ini, saya sangat menyarankan penggunaan kawalan PID bersama pirometer yang responsif. Jika anda menggunakan tenaga yang berlebihan tanpa memastikan fokusnya tepat, anda akan merosakkan tepi wafer tersebut.
Yang terbaiknya? Setelah anda membuat perubahan ini, anda tidak perlu lagi bergantung pada sistem penyejukan yang besar di dinding sel vakum tersebut. Permukaan peralatan akan tetap sejuk, dan para pekerja tidak perlu risau tentang risiko terbakar semasa melakukan penyelenggaraan. Selain itu, anda juga dapat meningkatkan kelajuan pengeluaran tanpa perlu memanggil juruteknik untuk menambah kapasiti sistem penyejukan. Ia memang berkesan.