Berhenti membuang masa menunggu wafer dipanaskan
Jika anda masih bergantung pada sistem pemanasan udara untuk proses pemprosesan semikonduktor, sebenarnya anda sedang membuang masa sahaja.
Fikirkan bagaimana proses konveksi berfungsi. Anda memanaskan udara, kemudian menunggu udara tersebut memanaskan wafer. Ia merupakan proses yang lambat. Dalam kilang pengeluaran semikonduktor, kelewatan ini bermakna pembaziran wang.
Pemanasan menggunakan sinar inframerah menghapuskan keperluan untuk memanaskan udara terlebih dahulu. Sebaliknya, ia menghantar radiasi elektromagnetik terus ke permukaan wafer. Proses ini berlaku dengan sangat cepat.
Faktor kelajuan
Sesiapa yang pernah menggunakan sistem pemanasan udara pasti tahu betapa menyakitkannya proses pemanasan yang lama. Anda hanya perlu duduk dan menunggu sehingga suhu di dalam bilik mencapai tahap yang diinginkan. Ini sangat menjengkelkan.
Lampu inframerah mengubah segalanya. Ia dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam beberapa saat sahaja. Apabila anda perlu melakukan proses pengeringan atau pengeluaran gas dari wafer, perbezaannya sangat ketara. Anda boleh mengurangkan masa pemanasan sebanyak 40% hingga 70%.
Ini bukan sekadar peningkatan yang kecil. Ia bermakna anda dapat menjimatkan masa yang banyak untuk setiap wafer yang diproses.
Kelemahan (kerana selalu ada kelemahan)
Anda tidak boleh sekadar menggantikan pemanas biasa dengan lampu inframerah saja. Lampu inframerah menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika kedudukan lampu tidak tepat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, sehingga merosakkan wafer tersebut.
Anda juga perlu memikirkan semula cara penggunaan sensor. Lupakan saja cara memeriksa suhu udara sekeliling – ia tidak memberikan maklumat yang berguna. Anda perlu memantau suhu permukaan wafer secara langsung untuk mengetahui apa yang sebenarnya berlaku pada bahan tersebut.
Menggunakannya dalam ruang yang terhad
Kebanyakan kilang pengeluaran semikonduktor memiliki ruang yang terhad. Oven konveksi yang besar memakan ruang yang banyak. Namun, lampu inframerah lebih ringkas dan mudah dipasang dalam sistem penghantaran wafer. Ini membolehkan proses pemprosesan dilakukan secara berterusan, tanpa perlu menunggu lama.
Satu perkara yang perlu diingat: pastikan kipas penyejuk mampu menangani haba yang dihasilkan oleh lampu inframerah. Jika tidak, komponen elektronik akan rosak, dan anda perlu bermula semula dari awal.