진공 챔버용 적외선 히터

반도체 진공 챔버를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 만약 반도체 진공 챔버에서 고출력 IR 램프를 사용해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 열에 대항하는 것은 계속되는 싸움과 같습니다. 문제는 일반적인 램프들이 에너지를 360도로...