유리 조각으로 인한 피해를 막아보세요: 웨이퍼 처리 공정을 깨끗하게 유지하기
고부하 상태에서 램프가 고장 나는 경험을 해본 적이 있다면 그 불편함을 잘 알 것입니다. 단순히 작업이 중단되는 것만 문제가 아닙니다. 작업 공간이 유리 조각과 화학 물질로 가득 차서 웨이퍼 전체가 버려지는 상황도 발생할 수 있습니다. 정말 엉망진창이죠. 엄청나게 비싼 손해가 발생합니다.
우리는 이런 상황을 방지하기 위해 오존이 전혀 배출되지 않는 적외선 램프를 개발했습니다.
오존의 문제점
일반적인 단파 램프는 200nm보다 짧은 파장의 빛을 방출합니다. 이는 기술적인 용어처럼 들릴 수 있지만, 실제로는 그러한 파장들이 공기 중의 산소와 반응하여 오존을 생성합니다.
클린룸에서는 오존이 큰 문제가 됩니다. 오존은 부식성이 있어 유기물을 파괴하고 화학 기상 증착 공정에도 영향을 미칩니다. 우리는 특수한 석영 소재를 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 이 석영 소재는 필터 역할을 하여 진공 자외선을 차단해줍니다. 그래서 빠른 경화를 위해 필요한 강력한 열은 그대로 유지되면서도 유해한 화학 물질의 영향은 없습니다.
램프가 깨지는 이유
고부하 상태에서는 석영 재질이 매우 견디기 힘듭니다. 열应力가 너무 커서 필라멘트가 증발하고 얇아지면서 결국 ‘핫 스팟’이 생겨 램프가 파손됩니다.
이를 방지하기 위해 우리는 고순도 할로겐 가스를 사용합니다. 이 가스는 필라멘트를 안정적으로 유지시켜 조기 손상을 방지합니다.
또한 밀봉 부분도 중요합니다. 최대 출력 상태에서는 램프 중앙과 양쪽 끝의 온도 차이가 매우 큽니다. 밀봉이 약하면 그곳에서 누수가 발생합니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 엔드캡을 강화하여 내부 압력을 안정적으로 유지합니다.
몇 가지 주의사항
어떤 램프도 완벽하지는 않습니다.
오존이 전혀 배출되지 않는 석영 램프는 필터링 기능이 있기 때문에, 일반 석영 램프와 비교해 빛의 성능이 다를 수 있습니다. 따라서 일반적인 목표 온도에 도달하기 위해 전원을 2~5% 높이거나 타이머를 조절해야 할 수도 있습니다.
또한, 냉각 팬도 반드시 점검해야 합니다. 램프 양쪽 끝의 열을 제대로 처리할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전기 접점이 손상될 수 있습니다.