Ferma quel “shower di vetro”: mantieni pulito il processo di lavorazione delle wafer
Se mai vi è capitato che una lampada si rompesse durante un ciclo di lavoro ad alto carico, sapete bene cosa significa. Non si tratta soltanto di fastidi legati alla pausa nel lavoro; si tratta anche del disastro causato dal fatto che l’intera partita di wafer va sprecata, visto che lo spazio di lavoro diventa pieno di schegge di vetro e sostanze chimiche. È un vero disastro… un disastro enorme e costoso.
Abbiamo progettato le nostre lampade a infrarossi prive di ozono apposta per evitare che ciò accada.
Il problema dell’ozono
Le lampade a onde corte standard emettono raggi con lunghezza d’onda inferiore ai 200 nm. Sembra una cosa tecnica, ma nel mondo reale tali raggi interagiscono con l’ossigeno presente nell’aria, trasformandolo in ozono. In una sala pulita, l’ozono rappresenta un vero incubo: è corrosivo, distrugge i materiali organici e interferisce con i processi di deposizione chimica. Per risolvere questo problema, abbiamo utilizzato un rivestimento in quarzo speciale: esso funge da filtro, bloccando quelle lunghezze d’onda. Così si ottiene ancora il calore necessario per una polimerizzazione rapida, senza però gli effetti negativi legati alle sostanze chimiche.
Perché le lampade si rompono
I cicli di lavoro ad alto carico sono molto duri per il quarzo: lo stress termico è elevato. La maggior parte delle lampade si rompe perché il filamento si evapora, diventa sottile e crea dei “punti caldi” che alla fine causano la rottura della lampada stessa. Per evitarlo, utilizziamo gas alcalino ad alta purezza: essi mantengono il filamento stabile, evitando così il suo deterioramento prematuro.
Inoltre, bisogna prestare attenzione ai sigilli presenti sulla lampada: quando la lampada funziona a piena potenza, la differenza di temperatura tra il centro della lampada e le sue estremità è enorme. Se i sigilli non sono sufficientemente robusti, inizieranno delle perdite. Abbiamo quindi rafforzato i sigilli per far fronte a questa situazione, mantenendo la pressione interna costante anche in condizioni estreme.
Qualche consiglio utile
Nessuna lampada è invulnerabile. Grazie al rivestimento in quarzo privo di ozono, la potenza luminosa emessa è leggermente diversa rispetto a quella delle lampade tradizionali. Potreste dover aumentare la potenza di 2-5%, oppure regolare i tempi di funzionamento per raggiungere la temperatura desiderata.
Un altro consiglio: controllate bene i ventilatori di raffreddamento. Assicuratevi che siano in grado di gestire il calore generato dalle lampade, così da evitare danni ai contatti elettrici.