Berhentilah memanaskan ruang vakum tersebut (dan mulailah memanaskan wafer saja).
Jika Anda pernah menggunakan lampu IR berdaya tinggi di dalam ruang vakum untuk pengolahan semikonduktor, Anda pasti tahu betapa sulitnya mengatasi masalah panas yang dihasilkan oleh lampu-lampu tersebut. Masalahnya adalah lampu standar memancarkan energi ke segala arah—sekitar 360 derajat. Di kondisi vakum yang ketat, sebagian besar panas tersebut tidak sampai ke wafer. Sebaliknya, panas tersebut justru mengenai dinding ruang vakum. Dengan demikian, energi yang digunakan menjadi sia-sia, dan bagian luar peralatan akan menjadi sangat panas sehingga bisa melukai orang yang berada di dekatnya.
Inilah solusinya: Pemanasan terarah.
Alih-alih menggunakan tabung kuarsa biasa, kita menggunakan lapisan reflektif atau reflektor parabolik untuk mengarahkan energi IR ke tempat yang benar-benar dibutuhkan. Dengan cara ini, sinar panas dapat dikonsentrasikan pada titik yang tepat.
Ini merupakan perubahan sederhana, tetapi efeknya sangat signifikan. Anda tidak perlu lagi mencoba memanaskan seluruh peralatan, tetapi cukup fokus pada bagian yang perlu dipanaskan saja.
Namun, Anda tidak boleh sembarangan memilih lampu yang digunakan. Kami biasanya menggunakan emiter IR berpanjang gelombang pendek. Lampu jenis ini lebih cocok digunakan dalam lingkungan vakum, dan mampu berinteraksi lebih efektif dengan bahan semikonduktor.
Namun, harap berhati-hati terhadap densitas energi yang dihasilkan. Karena lampu-lampu ini mampu mengkonsentrasikan panas, maka jika titik fokusnya salah sedikit saja, bisa timbul titik panas yang berbahaya. Untuk menghindari hal ini, saya sangat menyarankan penggunaan kontroler PID yang dikombinasikan dengan pirameter yang respons cepat. Jika Anda memberikan daya yang terlalu besar tanpa memastikan penyetelan yang tepat, maka tepi-tepi wafer akan terbakar.
Yang paling baik adalah, setelah melakukan perubahan ini, Anda tidak perlu lagi bergantung pada sistem pendingin yang rumit di dinding ruang vakum. Bagian luar peralatan akan tetap dingin. Para operator juga tidak perlu takut terluka saat melakukan perawatan. Selain itu, kapasitas produksi pun akan meningkat, tanpa perlu memperbaiki sistem pendingin air di fasilitas Anda. Sangat efisien.