ग्लास शॉवर को रोकें: अपनी वेफर प्रसंस्करण प्रक्रिया को सुरक्षित रखें
यदि आपने कभी उच्च भार की स्थिति में लैंप टूटने का अनुभव किया है, तो आपको उसका दर्द समझ में आएगा। यह केवल बंद होने की समस्या ही नहीं है… बल्कि ऐसी स्थिति में पूरा वेफर बर्बाद हो जाता है, क्योंकि कार्यस्थल पर ग्लास के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ फैल जाते हैं। यह बहुत ही खराब स्थिति है… एक बहुत ही महंगी समस्या।
हमने ऐसे ओज़ोन-मुक्त इन्फ्रारेड लैंप बनाए हैं, ताकि ऐसी स्थिति न हो।
ओज़ोन की समस्या
सामान्य शॉर्टवेव लैंप 200 नैनोमीटर से कम तरंगदैर्घ्य वाली रोशनी उत्पन्न करते हैं। यह तो तकनीकी बात लगती है… लेकिन वास्तव में, ऐसी तरंगदैर्घ्य वाली रोशनी हवा में मौजूद ऑक्सीजन को ओज़ोन में बदल देती है।
क्लीनरूम में ओज़ोन बहुत ही खतरनाक है… यह क्षारक है… यह कार्बनिक पदार्थों को नष्ट कर देता है, एवं रासायनिक प्रक्रियाओं में बाधा डालता है। हमने इस समस्या का समाधान विशेष क्वार्ट्ज आवरण का उपयोग करके किया… यह वास्तव में एक फिल्टर का काम करता है… यह वैक्यूम अल्ट्रावायलेट तरंगदैर्घ्यों को रोक देता है। आपको तो तेज़ गर्मी ही मिलती है… लेकिन कोई रासायनिक प्रभाव नहीं होता।
लैंप क्यों टूट जाते हैं?
उच्च भार की स्थिति में क्वार्ट्ज पर भारी तापीय दबाव पड़ता है… इस कारण लैंप टूट जाते हैं। ज्यादातर लैंप इसलिए ही टूट जाते हैं, क्योंकि उनकी फिलामेंटें विघटित हो जाती हैं… और ऐसी स्थिति में लैंप टूट जाता है।
इसे रोकने हेतु हम उच्च शुद्धता वाली हैलोजन गैस का उपयोग करते हैं… यह फिलामेंटों को स्थिर रखती है… ताकि वे जल्दी खराब न हों।
इसके अलावा, सीलिंग भी महत्वपूर्ण है… जब लैंप उच्च वॉटेज पर काम कर रहा होता है, तो लैंप के केंद्र एवं सिरों के बीच तापमान में बहुत अंतर होता है… यदि सीलिंग कमजोर हो, तो लीकेज होने लगता है… हमने अपने लैंपों की सीलिंग को मजबूत बनाया है… ताकि तापमान स्थिर रहे।
कुछ बातें ध्यान में रखें…
कोई भी लैंप अजेय नहीं है…
चूँकि हमारे लैंपों में फिल्टरिंग परत है, इसलिए उनसे निकलने वाली रोशनी थोड़ी अलग होती है… आपको शायद 2-5% अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होगी… या आपको अपने टाइमरों को समायोजित करने की आवश्यकता होगी… ताकि आपको वांछित तापमान प्राप्त हो सके।
इसके अलावा, अपने कूलिंग फैनों की भी जाँच करें… सुनिश्चित करें कि वे लैंप के सिरों पर पड़ने वाले ताप को सह सकें… ताकि आपके विद्युत संपर्क खराब न हों।