Arrêtez de chauffer la chambre à vide de votre appareil (et commencez plutôt à chauffer la puce elle-même)
Si vous avez déjà utilisé des lampes infrarouges à haute puissance dans une chambre à vide pour semi-conducteurs, vous connaissez bien les difficultés liées à ce problème. Il s’agit d’une lutte constante contre l’accumulation de chaleur.
Le problème, c’est que les lampes standards émettent leur énergie dans toutes les directions – un rayonnement de 360 degrés. Dans un environnement à vide, la plupart de cette chaleur ne touche même pas la puce. Elle se retrouve plutôt concentrée sur les parois de la chambre. Vous gaspillez donc beaucoup d’énergie, et la surface extérieure de votre équipement devient si chaude qu’elle peut blesser quelqu’un.
Voici la solution : le chauffage dirigé.
Au lieu d’utiliser simplement un tube en quartz, nous utilisons des revêtements réfléchissants ou des réflecteurs paraboliques pour diriger l’énergie infrarouge exactement là où elle est nécessaire. En d’autres termes, nous restreignons le faisceau d’énergie.
C’est un changement simple, mais il change tout. Vous n’avez plus besoin de chauffer toute la machine ; vous pouvez vous concentrer uniquement sur la partie concernée.
Bien sûr, vous ne pouvez pas simplement mettre n’importe quelle lampe là-dedans. Nous préférons généralement utiliser des émetteurs infrarouges à ondes courtes. Ils fonctionnent mieux dans un environnement à vide et permettent une meilleure interaction avec les matériaux semi-conducteurs.
Mais attention : veillez bien à la densité de puissance utilisée. Comme ces lampes concentrent la chaleur, elles peuvent créer des points chauds dangereux si le foyer n’est pas parfaitement aligné, même de quelques millimètres. Pour éviter cela, je recommande fortement l’utilisation d’un contrôleur PID associé à un pyromètre à réponse rapide. Si vous augmentez trop la puissance sans ajuster correctement l’alignement, vous risquez de brûler les bords des puces.
Le meilleur aspect ? Une fois que vous passez à ce système, vous n’avez plus besoin de ces gros systèmes de refroidissement sur les parois de la chambre. La surface extérieure de l’équipement reste froide. Vos opérateurs n’ont plus à craindre de se brûler pendant les maintenances. De plus, vous obtenez une productivité accrue, sans avoir besoin d’appeler des techniciens pour améliorer la capacité de refroidissement de votre installation. C’est vraiment simple.