Arrêtez de perdre du temps en attendant que vos wafers se réchauffent
Si vous continuez à utiliser des systèmes de chauffage par air chaud pour le traitement des semi-conducteurs, vous perdez simplement du temps.
Pensez au fonctionnement de la convection : on chauffe l’air, puis on attend que cet air réchauffe les wafers. C’est un processus lent. Il y a un délai entre le moment où l’air est chauffé et celui où les wafers sont prêts. Dans une usine de fabrication, ce délai représente un gaspillage d’argent.
Le chauffage infrarouge élimine ce problème. Au lieu de chauffer l’air, il envoie des rayonnements électromagnétiques directement sur le substrat. C’est presque instantané.
Le facteur vitesse
Tout ceux qui ont eu affaire à des systèmes de chauffage par air chaud connaissent bien les longs temps d’attente nécessaires pour que la chambre atteigne la température souhaitée. C’est frustrant.
Les lampes infrarouges changent cela : elles atteignent la température désirée en quelques secondes seulement. Lorsqu’il s’agit de procédés de durcissement ou de dégazage, la différence est énorme. On parle là d’une réduction de 40 % à 70 % du temps de chauffage.
Ce n’est pas une simple amélioration mineure : cela signifie vraiment gagner des secondes pour chaque wafer. Cela fait une grande différence au fil du temps.
Les défis (car il y en a toujours)
Vous ne pouvez pas simplement remplacer le chauffage par une lampe infrarouge et penser que c’est suffisant. Les lampes infrarouges produisent beaucoup de chaleur concentrée. Si leur positionnement n’est pas parfait, des points chauds peuvent apparaître, ce qui peut endommager les wafers.
De plus, vous devrez reconsidérer l’usage des capteurs. Oubliez de vérifier la température de l’air ambiant : cela ne vous dit rien du tout. Il vous faut un suivi en temps réel de la température de la surface du matériau pour savoir ce qui se passe vraiment.
Adapter ce système à votre environnement
La plupart des usines de fabrication disposent d’un espace très limité. Les fours à convection géants constituent un véritable cauchemar, car ils occupent beaucoup d’espace. Les matrices infrarouges, en revanche, sont compactes. Vous pouvez les intégrer directement dans votre ligne de production. Cela permet de passer à un processus en flux continu, plutôt qu’en lots. C’est plus rapide, et les autres composants de l’équipement n’ont pas besoin de rester exposés à la chaleur pendant autant de temps.
Un conseil : assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement puissent gérer la chaleur produite par les lampes infrarouges. Sinon, vos composants électroniques seront endommagés, et vous reverrez bien le début du processus.