Arrêtez les dommages causés par les éclats de verre : maintenez un environnement propre pour le traitement des wafer
Si vous avez déjà eu affaire à une lampe qui a explosé pendant une opération à fort débit, vous savez ce que c’est. Ce n’est pas seulement l’ennui lié aux temps d’arrêt ; c’est aussi le choc de voir toute une série de wafer être perdus, car l’espace de travail est soudainement recouvert d’éclats de verre et de résidus chimiques. C’est un vrai désordre… un désordre coûteux et compliqué à résoudre.
Nous avons conçu nos lampes infrarouges sans ozone spécifiquement pour éviter que cela ne se produise.
Le problème avec l’ozone
Les lampes à ondes courtes standards émettent des longueurs d’onde inférieures à 200 nm. Ça peut sembler être un détail technique, mais en réalité, ces longueurs d’onde interagissent avec l’oxygène présent dans l’air et le transforment en ozone. Dans une salle propre, l’ozone est un véritable cauchemar : il est corrosif, il détériore les matériaux organiques et perturbe le processus de dépôt chimique. Nous avons résolu ce problème en utilisant une enveloppe en quartz spécial. Elle agit comme un filtre, bloquant ces longueurs d’onde ultraviolette. Vous conservez ainsi la chaleur nécessaire pour un séchage rapide, sans les effets néfastes liés aux produits chimiques.
Pourquoi les tubes se brisent-ils ?
Les cycles à fort débit sont très difficiles pour le quartz. La tension thermique est intense. La plupart des lampes échouent parce que le filament s’évapore, s’amincit, ce qui crée des points chauds qui finissent par faire exploser la lampe. Pour éviter cela, nous utilisons du gaz halogène de haute pureté. Cela permet au filament de rester stable et de ne pas se détériorer prématurément.
Il y a aussi les joints de fermeture. Lorsque la lampe fonctionne à pleine puissance, la différence de température entre le centre de la lampe et ses extrémités est énorme. Si les joints sont faibles, c’est là que commence la fuite. Nous avons renforcé ces joints pour supporter cette expansion, afin de maintenir une pression interne constante, même lorsque la température monte en flèche.
Quelques points à garder à l’esprit
Aucune lampe n’est invulnérable. Comme notre quartz sans ozone possède cette couche de filtration, la qualité de la lumière diffère légèrement de celle du quartz brut. Vous devrez peut-être augmenter la puissance de 2 à 5 %, ou ajuster les horaires de fonctionnement pour atteindre la température souhaitée.
Un autre conseil : vérifiez bien vos ventilateurs de refroidissement. Assurez-vous qu’ils peuvent gérer la chaleur générée aux extrémités de la lampe, afin d’éviter que vos contacts électriques ne soient endommagés.