Arrêtez les éclats : gardez vos wafers propres lors de l’utilisation de lampes IR à forte puissance
soyons honnêtes : lorsque une lampe IR tombe en panne dans une usine de semi-conducteurs, c’est un vrai cauchemar. Il ne s’agit pas seulement de l’arrêt de la machine, mais aussi du désordre qu’elle provoque. Des morceaux de verre et du tungstène évaporé tombent sur les wafers. Une seule lampe endommagée peut détruire toute une série de wafers en quelques secondes. Ce n’est certainement pas ce que vous souhaitez vivre un mardi.
Gérer la chaleur
Nos lampes dotées de réflecteurs en or sont conçues pour résister aux conditions extrêmes imposées par le chauffage des wafers. La plupart des lampes tombent en panne au niveau du joint entre les électrodes et le quartz. Pour éviter cela, nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté. Celui-ci résiste mieux aux températures élevées. De plus, le réflecteur en or a une fonction importante : il dirige les rayonnements IR là où ils doivent aller, ce qui réduit la chaleur rejetée dans le boîtier de la lampe. Ainsi, le boîtier reste frais, évitant ainsi tout choc thermique lorsqu’on augmente la puissance de la lampe.
Éviter les débris
L’objectif est simple : garder les débris à l’extérieur du boîtier. Nous utilisons une méthode de scellement spéciale pour éviter toute fuite de gaz et empêcher la dégradation prématurée de la lampe. Mais parfois, des accidents surviennent. Si une lampe tombe en panne, il est important que les débris restent confinés à l’intérieur du boîtier. C’est pourquoi nous recommandons toujours l’utilisation de protections en quartz. Il s’agit d’un véritable tampon physique entre l’élément chauffant et vos précieux wafers.
Les compromis dans la pratique
Si vous voulez une forte intensité de rayonnement IR, vous avez besoin d’une grande puissance. Vous obtiendrez bien de la chaleur, mais votre alimentation électrique et les systèmes de refroidissement en subiront les conséquences. Si l’air de refroidissement n’est pas suffisant pour gérer ce flux de chaleur, les extrémités des lampes se détérioreront très rapidement. Ah, et n’oubliez pas d’utiliser des fils résistants aux hautes températures. Personne ne veut avoir affaire à des isolants fondues…