Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass die Wafer erhitzt werden.
Falls Sie immer noch auf die Wärmeverteilung durch heiße Luft setzen, spielen Sie im Grunde nur ein Wartesspiel.
Denken Sie darüber nach, wie die Konvektion funktioniert: Man heizt die Luft auf und wartet anschließend darauf, dass diese Luft die Wafer erwärmt. Das ist ein langsamer Prozess – es entsteht eine Verzögerung. In einer Fertigungsanlage bedeutet das nichts anderes als Geldverschwendung.
Die Infrarot-Heizung beseitigt diesen Mittelsmann. Anstelle der Erwärmung der Luft wird elektromagnetische Strahlung direkt auf das Substrat abgegeben.
Es geht fast sofort.
Der Geschwindigkeitsvorteil
Jeder, der bereits mit Systemen zur Erwärmung mittels heißer Luft zu tun hatte, kennt die Unannehmlichkeiten dieser langen Aufwärmzeiten. Man muss einfach nur warten, bis die Kammer stabilisiert ist – das ist frustrierend.
Infrarotlampen ändern das. Sie bringen die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle erreicht. Bei Prozessen wie Aushärten oder Entgasung macht sich das enorm bemerkbar. Die Aufwärmzeit kann um 40 % bis 70 % verkürzt werden.
Das ist keine „verbesserte“ Lösung – es handelt sich dabei um echte Zeitersparnis für jede einzelne Wafer. Das addsiert sich schnell zusammen.
Die Einschränkungen (denn es gibt immer welche)
Man kann nicht einfach einen Heizer entfernen, eine Infrarotlampe einbauen und dann fertig sein.
Infrarotlampen erzeugen viel konzentrierte Wärme. Wenn die Position der Lampe auch nur leicht falsch ist, entstehen Hotspots, die ganze Chargen ruinieren können.
Außerdem muss man seine Sensoren neu überdenken. Es reicht nicht aus, die Umgebungstemperatur zu messen – das sagt Ihnen nichts über den Zustand des Materials aus. Man benötigt eine Echtzeitüberwachung der Oberfläche, um zu wissen, was eigentlich mit dem Material passiert.
Die Umsetzung in Ihrer Anlage
In den meisten Fertigungsanlagen wird der Platz immer knapper. Platz ist ein kostbares Gut.
Riesige Konvektionsöfen sind ein Albtraum – sie beanspruchen einfach zu viel Raum. Infrarotsysteme hingegen sind kompakt. Man kann sie direkt in die Transportbänder integrieren.
Dadurch kann man auf einen kontinuierlichen Arbeitsablauf umsteigen – statt in Chargen zu arbeiten. Das ist schneller, und die anderen Maschinenteile müssen nicht mehr so lange in der Hitze stehen.
Ein Hinweis: Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlfans die abgestrahlte Wärme bewältigen können. Andernfalls werden Ihre Steuerelektroniken beschädigt – und man ist wieder am Anfang.