Udržení čisté místnosti třídy 100 skutečně čistou
Když pracujete v čisté místnosti třídy 100, topení není jen o zahřátí prostoru. Jde o boj proti částicím.
V továrnách na polovodiče jsou důsledky katastrofální. Stačí jediný drobný úlomek materiálu nebo jediný kousek kovu a váš wafer je zničen. Aby se to zabránilo, spoléháme se na specifickou kombinaci: vysoce čistý syntetický křemen a dráty izolované Teflonem.
Problémy s křemenem
Pro naše infračervené lampy používáme vysoce čistý syntetický křemen – protože ne„prosakuje“. Standardní sklo nebo levné materiály mají tendenci uvolňovat plyny při zahřátí. To je v čisté místnosti noční můra. Náš syntetický křemen zůstává stabilní – i při extrémních teplotách zůstává pevný a neuvolňuje mikroskopické částice do pracovní oblasti.
Nedívejte se jen na topný prvek
Topný prvek je pouze polovina problému. Obvykle to jsou právě dráty, které selžou jako první.
Pro tyto topné prvky používáme dráty potažené Teflonem (PTFE). Je to z jednoduchého důvodu – nekouří a nezkazí se při vystavení radiátnímu teplu. Pokud použijete standardní PVC, izolační vrstva se roztaví a uvolní do vzduchu škodlivé látky. To rozhodně není dobré.
Teflon zůstává stabilní. Navíc dráty pečlivě zarovnáváme, aby během instalace nic nerušilo jejich funkci.
Kompromisy (protože nic není dokonalé)
Výhodou vysoce čistého křemenu je, že je křehčí než borosilikát. Nemůžete prostě použít jakékoliv rukavice – potřebujete rukavice bez chomáčků vlákna, jinak budete mít problémy.
A i když jsou dráty potažené Teflonem skvělým řešením, vyžadují opatrnost při ohýbání. Pokud dráty pokřivíte během instalace, můžete poškodit izolaci. Je potřeba postupovat opatrně.
Jak to vlastně funguje
Tyto lampy vydávají přesnou energii v podobě krátkovlnného infračerveného záření. Výhodou je, že zahříváte přímo substrát. Nemarníte energii na zahřev vzduchu nebo stěn komory. Tím se snižuje zátěž systému HVAC a počet částic zůstává na správné úrovni.
Je to rychlé. Opravdu rychlé. A tyto lampy se vejdou do těch úzkých prostor v továrnách na polovodiče, aniž by zabíraly polovinu místnosti.