Zastavte „skleněnou sprchu“: Udržujte čistotu při zpracování waferů
Pokud jste někdy měli problém s rozbitou lampou během intenzivního provozu, víte, jaké to je. Není to jen otrava způsobená dočasnou přerušenou prací. Jde také o šok z toho, když celá série waferů přijde vniveč – pracovní prostor se totiž najednou pokryje střepy skla a chemickými odpady. Je to chaos. Obrovský a drahý chaos.
Vytvořili jsme naše infrakrásné lampy bez ozonu právě proto, abychom zabránili tomuto problému.
Problémy s ozonem
Standardní krátkovlnné lampy vysílají světelné vlny pod 200 nm. To zní jako technický detail, ale v reálném světě tyto vlny působí na kyslík ve vzduchu a přeměňují ho na ozon. V čisté místnosti je ozon noční můrou – je korozivní, ničí organické materiály a narušuje proces chemické depozice. Vyřešili jsme to pomocí speciálního kvartcového obalu, který funguje jako filtr a blokuje tyto vlny. Stále máte dostatečné množství tepla pro rychlé schnutí, ale bez nepříjemných chemických účinků.
Proč se trubice vlastně lámou
Intenzivní provoz je pro kvartz velmi náročný – tepelné napětí je velké. Většina lamp selže, protože vlákno v nich odpařuje, ztenčuje se a vzniká tak „horké místo“, které nakonec praskne. Abychom tomu zabránili, používáme halogenní plyn vysoké čistoty. Ten udržuje vlákno stabilní, takže se neopotřebuje předčasně.
Dalším problémem jsou uzávěry lampy. Při maximálním výkonu je rozdíl teplot mezi středem lampy a jejími konci obrovský. Pokud jsou uzávěry slabé, začne docházet k únikům. Posílili jsme tedy uzávěry, abychom zajistili stabilní tlak uvnitř lampy, i když teploty stoupají.
Několik tipů
Všimněte si, že žádná lampa není nezničitelná. Díky filtrující vrstvě v našem kvartzu je výstup světla trochu jiný než u obyčejného kvartzu. Možná budete muset zvýšit výkon o 2–5 % nebo upravit časovače, abyste dosáhli požadované teploty.
Ještě jeden tip: opravdu zkontrolujte chladicí ventilátory. Ujistěte se, že dokážou zvládnout teplotní zatížení na koncích lampy, abyste nepoškodili elektrické kontakty.