في قسم التصنيع، لا يمكن السماح بأي تغيرات في درجة الحرارة أثناء عمليات معالجة الفوتوريزست أو تجفيفه. فأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية خلال عمليات التجفيف يؤدي إلى تغيرات في الأبعاد الحرجة للرقاقة، كما أن أي رطوبة متبقية بعد عملية التنظيف تؤثر سلبًا على جودة المنتج. لذلك، قمنا بتصميم جهاز تسخين بالأشعة تحت الحمراء لاستخدامه في هذه العمليات، حيث أن درجة الحرارة مهمة للغاية ولا يمكن التضحية بها.
ما هو مهم من الناحية الفنية؟ نستخدم أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة لتسخين الرقاقة بسرعة، دون الحاجة إلى التلامس المباشر، مع دقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. يقوم جهاز الإرسال القائم على الكوارتز والهالوجين بتوجيه الطاقة مباشرة إلى الفوتوريزست والسطح المستخدم في التصنيع، مما يجعل التأخير الحراري منخفضًا ويضمن استقرار درجة الحرارة. يمكن ضبط درجة الحرارة بدقة، ويقوم المستشعر بالحفاظ عليها طوال عملية التصنيع، مما يضمن استقرار سمك الطبقة الموجودة على الرقاقة.
تم تصميم هذا الجهاز ليتناسب مع غرف التصنيع من الفئة 1 إلى 100: لا ينتج أي جسيمات، والمواد المستخدمة لا تطلق غازات، كما أن السطح ناعم ويمكن تنظيفه بسهولة. يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة في اليوم، مع فترات صيانة محددة، مما يقلل من فترات التوقف غير المخطط لها.
لماذا يناسب هذا الجهاز عملية التصنيع؟ يحل هذا الجهاز المشاكل الحقيقية المتعلقة بتجفيف الرقاقات ومعالجة الفوتوريزست. يساعد في تقليل وقت العملية دون حدوث أخطاء، كما أنه يضمن استقرار درجة الحرارة، مما يقلل من تغيرات سمك الطبقة الموجودة على الرقاقة. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن الجهاز يعمل فقط عند الحاجة إليه، والكتلة الحرارية منخفضة. ونتيجة لذلك، يتم الحصول على سمك ثابت للطبقة الموجودة على الرقاقة، وتقل العيوب بعد عملية التنظيف، كما أن العملية تصبح أكثر استقرارًا أثناء نقل الرقاقات بكميات كبيرة. النتيجة هي زيادة جودة المنتج وتقليل النفايات، وذلك بفضل التحكم الدقيق في درجة الحرارة.
ما الذي يجب معرفته؟ يتطلب التركيب مطابقة واجهات الجهاز مع مواصفات النظام المستخدم، مثل أنماط التركيب وأنواع الموصلات والجهد الكهربائي. يعمل الجهاز بشكل أفضل عندما يكون مسار الإشعاع واضحًا، ويتم التحكم في الأسطح العاكسة، وإلا فقد تظهر مناطق ساخنة. يجب أيضًا إجراء عمليات معايرة دورية للجهاز، والالتزام بجدول استبدال الأجزاء المستخدمة في الجهاز. بهذه الطريقة، يمكن الحفاظ على دقة درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية، وبالتالي الحفاظ على استقرار عملية التصنيع.